羅茨-旋片-油擴散泵真空機組
特點與應(yīng)用：
該機組采用油做工作介質(zhì)，對于怕油污染的真空環(huán)境，其使用受到了一定限制。但采用五氯酚苯基乙醚或五氯酚苯基硅氧烷為工作液，返油就會得到很大改善。也可以采用水冷擋板，再裝一個簡單的液氮阱，可使返油率小于5×10-6mg/cm2因而可廣泛地應(yīng)用于光學(xué)工業(yè)、電子工業(yè)、真空冶金、航天及原子能工業(yè)中。
該機組的主泵有：（JK系列）直腔式油擴散泵和（JKT系列）凸腔式油擴散泵兩種類型。典型的應(yīng)用設(shè)備有各種真空單晶爐、真空燒結(jié)爐和真空鍍膜機等。
該機組具有結(jié)構(gòu)緊湊，操作靈活可靠，使用方便等特點，廣泛應(yīng)用于電子工業(yè)、冶金工業(yè)、化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)以及宇航等科研技術(shù)領(lǐng)域?？蔀檎婵諢Y(jié)爐，各種真空鍍膜機以及真空電子束焊機、各類真空電爐、電子顯微鏡、各種電子射線、加速器、宇宙空間模擬容器所需之高真空環(huán)境均可用JK系列擴散泵真空機組來實現(xiàn)。
該機組可配套提供JZ系列油擴散噴射泵真空機組（又稱油增壓泵機組）。該機組抽氣能力大、粗抽時間短、設(shè)備維護簡單、操作方便，是真空應(yīng)用設(shè)備的配套設(shè)備。但該機組不適于排除對金屬有腐蝕作用及對泵油產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)的氣體?，F(xiàn)廣泛地被太陽能制品企業(yè)所應(yīng)用。
